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[电子制造] 台阶仪膜厚测量:工业与科研中的纳米级精度检测

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发表于 2024-5-13 17:30:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
台阶仪,也称为探针式轮廓仪或接触式表面轮廓测量仪,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

台阶仪的工作原理
台阶仪的核心部件是一个精密的触针或探针,它被安装在一个高度可调的支架上。当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面可能存在微小的峰谷,触针在滑行的同时会根据表面的起伏作上下运动。这些上下运动被转换为电信号,通过精密的传感器和数据采集系统记录下来。

台阶仪测量膜厚的原理
台阶仪测量膜厚的原理是基于台阶高度差的变化。具体操作时,台阶仪的探针会沿着薄膜表面移动,探针上的传感器会记录下探针在薄膜表面和基底表面的垂直位移变化,并通过数据处理系统转换成薄膜的厚度值,从而计算出薄膜厚度。
CP系列台阶仪采用LVDC电容传感器,具有亚埃级分辨率和超微测力特点。在测量测薄膜厚度方面,具有以下特点:
1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;
2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;
3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;


台阶仪测量膜厚的优势
1、高精度
CP系列台阶仪出色的重复性和再现性,其分辨率可达纳米级别,完全满足被测件测量精度的要求。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC,接触力非常小,具备超高的测量精度和测量重复性,亚埃级垂直分辨率适合各类材质、吸光特性的表面测量。
2、高效率
配备有高速数据采集和分析系统,采用超精细的运动控制、标定算法等核心技术,测量稳定、便捷、高效。
3、多样化的测量功能
除了测量膜厚,台阶仪还可以测量表面粗糙度、台阶高度等多种表面特性,具有很强的多功能性。
4、适应范围广
台阶仪样品适应面广,对测量表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。
5、操作简单
台阶仪配备有用户友好的操作界面和强大的数据处理软件,操作简单。用户只需将探针放置在台阶上,仪器便会自动计算出薄膜的厚度,无需复杂的校准过程。

台阶仪在膜厚测量领域有其独特的优势,它不仅提供了高精度的测量结果,而且同时具备快速、多功能和易于操作的特点。随着技术的不断进步,台阶仪在材料科学和精密工程中的应用将会更加广泛,为薄膜材料的研究和质量控制提供强有力的支持。

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