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[原创] SJ6000激光干涉仪测量平面度的应用

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发表于 2017-3-22 18:06:23 | 显示全部楼层 |阅读模式

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平面度测量:
1.平面度测量原理
  SJ6000激光干涉仪平面测量是在角度测量的基础上做的延伸,利用角度测量的附件记录下一系列平面位置角度,再转化为高度的变化。一般按照对角线的方法测量出平台上不同位置的高度变化值,提供软件计算得到整个平台的平面度。

平面度测量光路原理图




平面度构建图

平面度测量配置:
平面度测量由以下组件构成:
激光器、角度测量光学镜组、平面度测量组件、测量软件


  测量一个平面的平面度,需要在平面上采集若干条测量直线,平面度测量有常用的方法为:对角线法,又称米字法。

  对角线法测量平面度时,若激光器位于G点出,光线射向E点时,建议按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序进行测量。
平面度测量应用:
大理石平台、平板的平面度测量

大理石平台平面度测量

发表于 2017-5-2 00:26:15 | 显示全部楼层

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 楼主| 发表于 2018-2-6 15:48:47 | 显示全部楼层

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