激光干涉仪可以测什么 - iCAx开思网

sj6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

sj6000激光干涉仪常用于数控机床精度检测和补偿，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
可实现对机床回转轴的测量与校准；
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
支持手动或自动进行环境补偿。

与传统的检定方法相比，sj6000激光干涉仪具有较高的精度和效率，并能及时处理数据，为机床误差修正提供依据。与不同光学附件结合，还可以测量距离、直线度、垂直度平行度、平面度。由于仪器为模块化结构，安装位置灵活，便于分析机床误差来源;而且测量时可以在工作部件运动过程中自动采集数据，更接近机床的实际使用状态。